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高纯气体知识

高纯氯化氢的介绍

作者:管理员 来源:本站 浏览数:4150 发布时间:2013/2/7 8:22:18

       无色,有毒,腐蚀性的不燃烧气体,窒息性的气味,对上呼吸道有强刺激,对眼、皮肤、黏膜有腐蚀。比重大于空气 ,遇潮湿的空气产生白烟,极易溶于水。液化瓶装气体,压力为其蒸气压 (41.7 kgf/cm2 @21.1°C )。高纯氯化氢主要应用于大规模集成电路生产中,单晶硅片气相抛光,外延机座腐蚀。

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